SCF441I
晶圆检测标记系统
晶圆表面缺陷AI检测与标记一体化解决方案，实现在线晶圆表面缺陷检测后通过阀体标记不良品。该检测系统还可以实现芯片外观检测 ：混料，引脚混料（极性/共面性/间距），表面沾污、划伤、崩边、裂纹。
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