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SCF441I晶圆检测标记系统
晶圆表面缺陷AI检测与标记一体化解决方案,实现在线晶圆表面缺陷检测后通过阀体标记不良品。该检测系统还可以实现芯片外观检测 :混料,引脚混料(极性/共面性/间距),表面沾污、划伤、崩边、裂纹。

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Product Features

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特点

“检-标-溯”一体化,实现质量闭环
颠覆了传统“人工检测-离线记录-手动标记”的分散流程,在一台设备上完成所有操作,杜绝了工序间的流转误差与时间延迟,实现了真正的在线全检与实时处理。
全生命周期数据溯源
通过二维码身份ID,为每一片晶圆建立专属的“质量档案”。可将缺陷信息(类型、位置、数量)与生产时间、批次、工艺参数关联,实现精准的数据追溯。
晶圆成像图片
晶圆检测图片
Main parameters

Main parameters

主要参数

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